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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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반사파에 의한 micro arc 질문
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RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도
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새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
[1] | 106 |
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
[1] | 105 |
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다.
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
[1] | 94 |
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플라즈마 설비에 대한 질문
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다.
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다!
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4 |
HE LEAK 과 접촉저항사이 관계
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3 |
PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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Druyvesteyn Distribution
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