Others 플라즈마와 자기장의 상호작용

2004.06.21 15:19

관리자 조회 수:17626 추천:281

플라즈마와 자기장의 상호 작용에 대한 구체적인 질문입니다ㅣ 이에 대한 자세한 답변을 본란에서 다루기는 너무 분량이 많습니다. 다
행하게도 일반작인 플라즈마 입문 책에서 이에 대한 내용을 매우 자세히 다루고있습니다. 일단 하전입자가 자기장 속에서 원운동을
하는데 이에 대한 내용은 일반물리학에서  LORENTZ FORCE를 배누면서 설명이 되어있으니 참고하시기 바랍니다. 이에 대한 이해가 있어야
자기장속에서 플라즈마 거동을 이해할수 있습니다.

플라즈마는 양전하를 띄는 이온과 음전하를 띄는 전자로 구성되어 있습니다. 이에 자기장이 인가되면 전자와 이온은 서로 반대반향으
로 원운동을 하게 됩니다. 회전 반경은 서로 다른데 가벼운 전자는 회전 반경이 작으며 회전 주기는 매우 빠릅니다. 상대적으로 이온
은 회전 반경이 크고 회전 주기는 매우 늦습니다. 이온니 회전하는 방향에서 생기는 류도 자기장은 외부에서 인가된 자기장과 반대방
향으로 플라즈마는 반 자성체를 뛴다고 할 수 있습니다.

이런 원운동으로 인해서 자기장이 인가되었을 경우 플라즈마는 자기장이 없는 경우에 비해 공간내에 퍼짐현사잉 줄어 들게 되며 '플
라즈마 구속'한다고 할 수 있습니다. 따라서 공간내의 플라즈마 밀도가 구속현상에 의해 높아지겠지요. 또한 이에 따라서 전자와 중
성입자간의 충돌률이 증가하게 되어 이온화률이 증가될 수 있습니다. 하지만 이온화에는이온화에 필요한 에너지가 요구됩으로 자기장
에 전자들이 구속되어 있다고 전자의 에너지가 높아지는 것은 아니므로 이온화률이 항상 증가됭다고는 말할 수 없겠지요.

아무튼 자기장이 플라즈마에 주는 영향에 대해서는 너무 많은 현상들이 있고 이에 대한 연누구가 플라즈마 연구자들의 대상이니 계속
이에 관심을 갖어 보시기를 바랍니다. 본인이 생각하신 것 보다도 더 신비로운 현상들이 플라즈마에 자기장이 인가됨으로써 발생하고
있습니다. 다음 기회에 말씀드리겠습니다.  
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
789 플라즈마 설비에 대한 질문 24
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 41
787 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 53
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 60
785 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 65
784 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 70
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 80
782 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 83
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 86
780 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 101
779 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 114
778 Microwave & RF Plasma [1] 115
777 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 116
776 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
775 skin depth에 대한 이해 [1] 130
774 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 136
773 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 139
771 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 147
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 151

Boards


XE Login