Langmuir Probe 플라즈마 측정기

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21344 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77246
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20471
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57378
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68905
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92956
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23794
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19200
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21342
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24710
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26250
201 몇가지 질문있습니다 16583
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21935
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 18033
198 matching box에 관한 질문 [1] 29709
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18308
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19366
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19588
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22563
» 플라즈마 측정기 [1] 21344
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22273
191 Arcing [1] 28680
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24787
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18805
188 궁금해서요 16324
187 PM을 한번 하시죠 19738

Boards


XE Login