Others 반도체 관련 질문입니다.

2011.01.11 09:51

이두형 조회 수:28577 추천:110

안녕하세요.

반도체 배선이 좁아지면서 달라지는것이 무었이 있을까요?

예를들어 가스의 양이 늘어난다거나, Power가 세진다거나...

어떤 변화들이 있을까요?

답변 부탁드릴께요^^ 좋은 하루 되세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76541
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
240 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17667
239 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21183
238 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24735
237 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22683
236 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19830
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20308
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31636
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24261
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23317
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22931
230 대기압 플라즈마 40676
» 반도체 관련 질문입니다. 28577
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47764
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20194
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16023
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19408
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29947

Boards


XE Login