ATM Plasma 대기압 플라즈마
2011.03.20 23:03
안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73079 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17643 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65733 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86106 |
703 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 142255 |
702 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134239 |
701 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 93518 |
700 | Plasma source type | 77770 |
699 | Silent Discharge | 64471 |
698 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 53351 |
697 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 46896 |
696 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43207 |
695 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
![]() | 40590 |
» | 대기압 플라즈마 | 39248 |
693 | RF frequency와 RF power 구분 | 38802 |
692 | Ground에 대하여 | 38286 |
691 | Self Bias | 36205 |
690 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35017 |
689 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34695 |
688 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31203 |