ATM Plasma 상압 플라즈마 방전에 관한 문의

2011.06.20 10:33

김동영 조회 수:20122 추천:10

안녕하세요

조금전 상압 플라즈마 방전과 관련한 내용을 전화로 문의드렸던 사람입니다.

서면으로 정리하여 문의드리는 쪽이 편하다고 하시어 이렇게 글을 남기게 되었습니다.


우선 저희가 연구중인 제품은 저온 상압 플라즈마 방전을 이용한 이온발생기로서 기본적인 목적은

항균/탈취/바이러스 제거 등 실내공기 정화입니다.


저희가 사용하는 방식은 아래와 같습니다.



1. 출력 전압 : ± 2.5kV ~ 4.5kV (DC, AC pulse 두가지 타입)

2. 사용 전극 : 침상 전극 (+), (-) 각 1개
- 두개의 전극간 이격 거리 : 30mm (최적의 전극간 이격거리를 현재 찾고 있음)
- 침상 전극의 형태는 얇은 철판을 5mm X 10mm 크기로 끝을 뾰족하게 만든 전극형태를 사용

3. 구동조건 : 상압,상온

4. 외관 : 침상 전극에 다치지 않도록 커버가 있으나, 공기의 유입이 가능하도록 직경 5pi 수준의 구멍이
  각각의 전극 상단에 위치함


이에 문의드리고자 하는 내용은,

1) 최적의 저온 상압 플라즈마 방전의 조건
- (+)이온, (-)이온의 발생이 가장 많이되는 최적의 출력전압조건(DC, AC or pulse / Voltage level)
- 침상전극의 형태
- 침상전극간 이격 거리

2) 저온 상압 플라즈마 방전에 대한 논문등의 자료
- 추천하시는 논문/서적/사이트/연구실/전문기관/전문가 등


적다보니 너무 광범위한 내용이 되어버려서 죄송합니다.

아는 것은 적은데 알고 싶은것이 너무 많은 탓이라 이해해주시면 감사하겠습니다.

바쁘시겠지만 검토부탁드리며, 회신 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16239
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83555
» 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20122
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31018
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22546
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23084
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22703
230 대기압 플라즈마 34319
229 반도체 관련 질문입니다. 28485
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46394
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20023
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15836
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19090
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29059
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17032
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34501
221 질문 있습니다. [1] 18309
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22331
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25400

Boards


XE Login