Sputtering 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다.
2012.04.01 11:51
ICP chamber 방식이며 Generator는 13.56MHz, 1.5kw두개를 사용할경우
matcher제작 or 분석을 하려는데 국내, 일본 회사에서는 불가능 할것 같다고 합니다.
미국의 AE, MKS를 제외하고 RF matcher나 Generator 방면에서 기술력을 갖고 있는
회사가 있을까요?
혹시 알고 계신곳이 있으면 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
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국내회사로 '플라즈마트'란 회사가 있습니다. 아울러 독일계 회사로 '휘팅거-Huttinger' 등을 알고 있습니다. 도움이 되기를 바랍니다.