안녕하세요.

해외에서 박사과정을 하고 있는 학생입니다.


RF스퍼터로 reactive sputtering을 통해 유전층을 증착하는 실험을 하는데요.

저희연구실에서는 스퍼터링 가스로 Ar/Kr를 사용하고 있습니다.

학부때는 Kr이 Ar보다 질량이 커서 sputtering yield가 증가한다 정도로만 배웠는데, ion bombardment energy 가 작기 때문에 플라즈마 데미지가 줄고, 더 좋은 막질이 형성된다고 하더라구요.

논문을 조금 찾아봤는데 스퍼터링 가스에 대한 연구는 오래전에 진행되었는지 최근논문들을 찾아보기 힘들더라구요.

그냥 단순히 생각했을 때 질량이 크면 충돌하는 에너지도 크고, 데미지가 더 셀 것 같은데 Kr 등의 가스가 Ar보다 플라즈마 데미지가 적은 원리에 대해 설명을 부탁드려도 될까요?


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77196
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20460
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92943
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1786
» sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2347
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1991
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1883
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 821
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1147
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1323
359 DC bias (Self bias) [3] 11345
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12579
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 798
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1914
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9538
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2686
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2013
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1484
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 578
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2697
349 RF frequency와 RF power 구분 39113
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2294
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2826

Boards


XE Login