Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76842 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68744 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92593 |
| 416 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 848 |
| » | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 414 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 2268 |
| 413 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3444 |
| 412 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5682 |
| 411 | DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] | 5469 |
| 410 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 485 |
| 409 | Si Wafer Broken [2] | 2529 |
| 408 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1435 |
| 407 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1323 |
| 406 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 943 |
| 405 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2325 |
| 404 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 26170 |
| 403 | Collisional mean free path 문의... [1] | 794 |
| 402 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2338 |
| 401 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4284 |
| 400 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14143 |
| 399 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 1019 |
| 398 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1044 |
| 397 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24122 |