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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76793
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20230
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92490
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 384
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 311
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 715
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 401
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 766
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 758
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 474
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 318
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 292
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 509
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 394
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 497
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 695
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 547
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 424
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 313
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 350
734 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 573
733 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 257
732 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 352

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