ICP Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여

2018.12.21 07:56

정용진 조회 수:1681

안녕하세요, dusty 플라즈마를 활용해서 나노소재를 만드는 연구를 하는 한 학생입니다.


플라즈마 electron density 를 증가하고자 CCP 에서 ICP 로 바꿔서 실험을 진행하고 있는데요,


Ar gas 만 흘럿을때는 매우 아름다운 ICP 효과를 얻을 수 있는데,

O2 gas 를 넣는 순간 ICP 효과가 사라집니다.


튜브 사이즈는 직경 2인치이고, power 는 200 W 정도 인가하였는데 

매칭박스의 매칭이 잘 되지는 않습니다. 


주로 CCP 만 사용하다가 ICP 를 사용하게 되어 매칭박스에 관해 지식이 짧은데,

혹시 ICP 를 사용할때는 이 모드에 맞게 매칭박스를 바꾸어야 하는지요?


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77242
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68904
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 847
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 863
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 985
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 576
» Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1681
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 397
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 479
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2349
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1694
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1350
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2392
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3547
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 701
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1227
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2173
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 501
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 601
429 자기 거울에 관하여 1150
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 832
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 3791

Boards


XE Login