Deposition PEALD관련 질문

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:32626

안녕하십니까?


현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57195
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92611
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2023
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1049
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1970
» PEALD관련 질문 [1] 32626
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2264
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3546
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1078
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 719
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3985
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 428
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2350
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1163
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1354
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 958
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2007
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2435
461 Wafer particle 성분 분석 [1] 2327
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2850
459 charge effect에 대해 [2] 1471
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1518
쓰기
태그

Boards

XE Login