Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:1470

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [45] 805
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 701
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49309
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58336
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72174
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 587
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 504
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1076
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 280
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 691
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 729
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 2845
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 727
500 공정플라즈마 [1] 616
499 임피던스 매칭회로 [1] file 1757
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 302
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 687
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 533
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1247
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 589
493 질문있습니다. [1] 1182
» chamber impedance [1] 1470
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 982
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1105
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 2175

Boards


XE Login