ESC 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
2020.08.12 09:14
안녕하십니까 김곤호 교수님
ESC를 공부하다가 어려운 내용이 있어서 이렇게 글을 올려봅니다.
전극 형태만 다르고 모두 같은 조건의 ESC중에 (interdigital 형식 전극과 Capacitor 형식의 전극이 큰 전극)
Chucking Force가 어떤 것이 높은지 궁굼합니다.
또 이 두가지의 장단점을 조금만 설명해 주시면 큰 도움이 될 것 같습니다.
대략적인 사진 첨부 드립니다. 컨펌 부탁드리겠습니다.
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결국에는 웨이퍼 bending 정도의 범위 안에서 판단이 될 것 같습니다. 첨부 논문을 참고하시기를 추천드립니다.
Daniel L. Goodman, "Effect of wafer bow on electrostatic chucking and back side gas cooling", J. App. Phys 104, 124902 (2008)
https://doi.org/10.1063/1.3043843