Matcher Interlock 화면.mag overtemp의 의미
2020.12.16 11:20
안녕하세요
Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75431 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19166 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56480 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67562 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89369 |
587 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 2810 |
586 | 플라즈마 챔버 [2] | 1028 |
585 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 946 |
584 | 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] | 3046 |
583 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 687 |
582 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1574 |
581 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1004 |
580 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 711 |
579 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 967 |
578 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 354 |
577 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 26998 |
576 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1099 |
575 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2282 |
574 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 408 |
573 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 930 |
572 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6387 |
571 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 680 |
» | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 523 |
569 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 899 |