안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] 75407
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67535
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
587 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 2798
586 플라즈마 챔버 [2] 1023
585 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 941
584 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3035
583 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 685
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1573
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 994
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 709
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 963
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 353
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 26870
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1095
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2277
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 407
» 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 923
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6386
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 678
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 522
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 899

Boards


XE Login