안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [130] 5618
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16923
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51352
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64229
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84326
» 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 620
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6315
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 567
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 442
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 835
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 869
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 819
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4626
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 568
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1301
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 1934
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2193
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 434
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3027
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16152
558 알고싶습니다 [1] 739
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1715
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 440
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 488
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2208

Boards


XE Login