안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76951
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20316
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57238
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68787
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92780
801 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 new 6
800 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 10
799 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 18
798 Druyvesteyn Distribution 24
797 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 28
796 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 35
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 36
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 38
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 66
792 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 73
791 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 73
790 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 81
788 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 83
787 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 85
786 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 91
785 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 95
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 100
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124

Boards


XE Login