Matcher Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
2021.02.03 17:50
이제 막 Plasma라는 것에 첫발을 딛은 직장 입니다.
주파수는 13.56Mhz 사용 중입니다.
공정 Power가 500W -> 1000W로 올렸더니 Load position이 내려 갔습니다.
RF power가 상향되면 Load position이 내려가는 이유를 잘 모르겠습니다. (기계공학전공입니다.)
Load position이 내려가는 이유를 알려주실수 있을까요?
감사합니다.
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Impedance Matching이라는 개념을 이해해 보시는 것이 필요합니다.
아울러 matcher 에서 load/ tune position의 의미는 capacitor의 위치 조절이며 이는 capacitance가 바뀌고 있음으로 이해할 수 있습니다.
하면 matcher의 cap 크기가 바뀌는 이유를 알면 position 변화의 의미를 이해할 수 있을 것 입니다.
좀 더 깊은 정보를 얻으려면 cap position 변동 즉 step motor의 변화 값 대비 capacitance 의 변동 값에 대한 상관관계 데이터를 받아
position 변화가 cap 증가 혹은 감소'분'의 관계를 알고 계셔야 장비 설계와 운전을 보다 용이하게 수행하실 수가 있겠습니다.
본 계시판에서 impedance matching 혹은 matcher 라는 주제어로 검색을 추천드립니다.