현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5590
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16863
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64198
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84173
691 플라즈마 진단 OES 관련 질문 19
690 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 32
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 41
688 ESC DC 전극 Damping 저항 64
687 RF Sputtering Target Issue [1] file 112
686 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 116
685 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 117
684 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 117
683 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 124
682 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 132
681 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 144
680 Polymer Temp Etch [1] 145
679 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 149
678 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 151
677 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
676 plasma striation 관련 문의 [1] file 165
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 184
674 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 191
673 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 192
672 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 202

Boards


XE Login