Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
댓글 2
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김곤호
2022.04.28 17:54
추천:1 댓글
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서태현
2022.05.18 11:13
플라즈마를 띄운 후 전류값이 달라진다는 것은 (정확한 계측시에) 플라즈마 unstable 상태(가스, 진공도 불량)나 RF 접점불량 등을 추축해 볼 수 있을 것 같습니다.
Match이 해당 안테나에 RF power를 인가하였을 때, miss matching하였는지 확인도 필요합니다..
Plasma stable이 되었다면 전류값이 크게 바뀌지 않을 것으로 생각 됩니다.(Match나 RF generator, RF cable 불량을 제외하고)
실제로 전류와 전압값에서 안정적인 test를 하고 싶으시다면 안테나의 전극를 안정적인 저항값에 놓고 test 하시는 것이 좋습니다.
저항값이 적절한 안테나는 RF power 인가시 적당한 전류, 전압 값을 가지게 됩니다.
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최선의 설계는 전기공학적인 설계 방법이 있을 것 같습니다만, 저는 경험이 없어 즉답을 드리기 힘듧니다. 다만 제 실험에서는 물리적으로 잘 결합이 되고, 접지에 각별하게 신경을 써야 한다는 정도만 알고 있습니다. 특히 clamp로 묶는 일 들은 매우 신중하셔야 할 것 같고요. RF는 DC와 매우 다르게 다루어야 하는 점 꼭 신경쓰시기 바랍니다.