Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] | 76507 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20047 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57103 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68586 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91572 |
778 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144185 |
777 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134422 |
776 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95409 |
775 | Plasma source type | 79604 |
774 | Silent Discharge | 64554 |
773 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54755 |
772 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47740 |
771 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43676 |
770 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41178 |
769 | 대기압 플라즈마 | 40659 |
768 | Ground에 대하여 | 39272 |
767 | RF frequency와 RF power 구분 | 39041 |
766 | Self Bias | 36370 |
765 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35793 |
764 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34913 |
763 | PEALD관련 질문 [1] | 32592 |