번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48630
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50133
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55155
564 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] newfile 12
563 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 44
562 이게 플라즈마가 맞나요? [1] 95
561 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 57
560 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 100
559 알고싶습니다 [1] 78
558 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 92
557 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 51
556 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 67
555 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 81
554 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 164
553 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 516
552 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 89
551 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 154
550 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 181
549 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 132
548 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 2174
547 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 143
546 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 110
545 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 221

Boards


XE Login