번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5608
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16896
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84229
691 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 47
690 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 53
689 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 46
688 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 1441
687 ESC DC 전극 Damping 저항 70
686 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 139
685 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 146
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 128
683 RF Sputtering Target Issue [1] file 118
682 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 127
681 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 817
680 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 196
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 168
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 194
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 192
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 150
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 150
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 257
673 Plasma Arching [1] 309
672 Polymer Temp Etch [1] 148

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