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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1838
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
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643 Bias 관련 질문 드립니다. 28
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. 66
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 47
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 157
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 165
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 2005
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 207
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635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 215
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 161
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 152
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 248
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 171
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 119
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 153
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 344
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 2901
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [2] 1822
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 410
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 324

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