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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68721
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92383
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. new 4
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 23
789 플라즈마 설비에 대한 질문 41
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 61
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 186
786 skin depth에 대한 이해 [1] 144
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 94
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 93
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 145
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 129
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 124
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 61
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 225
778 Microwave & RF Plasma [1] 124
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 191
776 ICP에서 전자의 가속 [1] 144
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 56
774 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 227
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 67
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 105
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