Plasma in general RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
2024.02.23 10:12
안녕하세요.
generator에는 A, B, AB, C ,D Class중 주로 어떤 class를 사용하나요?
이유도 궁금합니다..^^;;
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57196 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92612 |
| 797 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 22 |
| 796 | Druyvesteyn Distribution | 10 |
| 795 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 22 |
| 794 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 49 |
| 793 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 8 |
| 792 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 18 |
| 791 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 55 |
| 790 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 67 |
| 789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 63 |
| 788 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 86 |
| 787 | Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] | 215 |
| 786 | skin depth에 대한 이해 [1] | 165 |
| 785 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 118 |
| 784 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 110 |
| 783 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 178 |
| 782 |
CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다.
[1]  | 146 |
| 781 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 138 |
| 780 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
| 779 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 255 |
| 778 | Microwave & RF Plasma [1] | 134 |