번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17284
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53112
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64497
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85109
698 ICP lower power 와 RF bias [1] 81
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 54
696 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 23
695 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 100
694 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 67
693 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 155
692 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 324
691 plasma modeling 관련 질문 [1] 158
690 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 275
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 401
688 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 789
687 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2243
686 ESC DC 전극 Damping 저항 161
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 332
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 246
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 249
682 RF Sputtering Target Issue [1] file 219
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 211
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 922
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 219

Boards


XE Login