OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:275

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5817
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17284
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53114
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64497
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85109
698 ICP lower power 와 RF bias [1] 81
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 54
696 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 23
695 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 100
694 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 67
693 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 155
692 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 324
691 plasma modeling 관련 질문 [1] 159
» 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 275
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 402
688 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 789
687 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2243
686 ESC DC 전극 Damping 저항 161
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 332
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 246
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 249
682 RF Sputtering Target Issue [1] file 219
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 211
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 922
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 219

Boards


XE Login