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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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Druyvesteyn Distribution
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
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새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
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플라즈마 설비에 대한 질문
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788 |
진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도
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787 |
자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
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786 |
Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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785 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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784 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
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783 |
RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다.
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782 |
반사파에 의한 micro arc 질문
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781 |
RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
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780 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문
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Microwave & RF Plasma
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챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해
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