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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69139
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279 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 50
278 Druyvesteyn Distribution 82
277 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] update 115
276 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 121
275 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] update 158
274 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] update 159
273 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] update 166
272 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 178
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] update 178
270 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 179
269 corona model에 대한 질문입니다. [1] 183
268 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [Child-Langmuir law 이해] [1] update 189
267 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] update 203
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] update 216
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 239
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 241
263 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 319
262 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] update 332
261 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 336
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] update 345

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