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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68799
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278 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 17
277 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 21
276 Druyvesteyn Distribution 24
275 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 101
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273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128
272 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 140
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267 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 174
266 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 198
265 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 218
264 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
263 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 231
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 276
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260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 324
259 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 325

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