ATM Plasma 대기압 플라즈마 문의드립니다
2023.11.03 15:13
안녕하세요
Ar 대기압 플라즈마를 사용하여 실험 중에 있습니다.
현재의 문제는 가로의 길이는 넓은 범위로 플라즈마 조사가 가능하지만 세로의 폭을 넓게 하는 것이 한계가 있습니다. (세로 약 18mm)
혹시 관련하여 플라즈마의 영향 범위를 넓힐 수 있는 방법이 무엇이 있는 지 조언 주시면 감사하겠습니다 !
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
159 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 40 |
158 | skin depth에 대한 이해 [1] | 129 |
157 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 83 |
156 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 86 |
155 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 136 |
154 | CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] | 115 |
153 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 138 |
152 | CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] | 159 |
151 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 151 |
150 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 80 |
149 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 320 |
148 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 353 |
147 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 555 |
» | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 249 |
145 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 683 |
144 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 603 |
143 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 685 |
142 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 436 |
141 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
140 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 1174 |
저희 경험으로는,
1. 타겟이나 소스를 스캔 하는 방법
2. 독립 전원을 가진 소스를 병렬로 사용하거나, 전원 용량을 충분히 키운 조건의 병렬 전극을 사용하는 방법
단순한 방법 밖에 없네요. 대기압 플라즈마 처리 관련해서는 본 게시판에서 정보를 좀 더 찾아 보시기 바랍니다. 문의하실 곳 추천도 확인하실 수 있습니다. 좋은 결과 있기를 바랍니다.