Others 플라즈마 밀도와 라디칼

2024.03.13 13:45

김준서 조회 수:211

안녕하세요, 플라즈마에 대해 공부중인 3학년 학부생입니다.

 

플라즈마 밀도는 탐침을 통해 전자의 밀도를 측정함으로써 계산한다고 알고 있습니다.

플라즈마는 준준성이므로, 사실상 이는 이온의 밀도와도 거의 비슷할 것으로 생각합니다.

그렇다면 라디칼의 밀도 또한 플라즈마 밀도와 비례하는 것이 맞나요?

 

전자&이온 밀도 증가<-비탄성 충돌을 일으킬만한 에너지를 가진(가속된) 전자가 충분하며, gas의 몰(mole)수도 충분함

<-따라서 라디칼의 생성 확률도 높음

 

추가적으로, Pressure가 플라즈마 밀도에 끼치는 영향이 궁금한데,

인터넷에서는 압력이 증가하면 기체 몰수가 증가하므로 그만큼 이온&라디칼이 많아진다고 설명하는 글이 많았습니다.

하지만 흔히 알려진 파셴법칙과 연결해서 생각해보면, 압력이 증가할수록 MFP 또한 짧아지기 때문에 그만큼 전자가 충분히 가속되지 못할 가능성이 있다고 생각합니다. 따라서 최대한의 플라즈마 밀도 구현을 위해서는 적절한 Pressure을 설정해 주어야한다고 생각하는데, 해당 분석이 맞을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
» 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 211
99 Microwave & RF Plasma [1] 115
98 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
97 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
96 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
95 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 507
94 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 316
93 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
92 플라즈마 관련 교육 [1] 1408
91 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1241
90 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
89 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3414
88 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 708
87 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1118
86 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 455
85 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 950
84 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3753
83 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
82 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
쓰기
태그

Boards

XE Login