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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69135
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190 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [1] 22
189 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 27
188 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [1] 23
187 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] 61
186 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [1] 1392
185 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 120
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180 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 263
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