번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69399
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93944
192 플라즈마 식각 커스핑 식각량 85
191 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 113
190 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 116
189 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 132
188 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 135
187 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 158
186 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 166
185 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 169
184 ICP dry etch 시 공정 문의 사항. [1] 175
183 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 181
182 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 187
181 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 220
180 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 229
179 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 241
178 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 246
177 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 285
176 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 301
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 306
174 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 336
173 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 355

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