Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
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아울러 N2 플라즈마와 H2 플라즈마의 일반적인 차이는 이온화, 해리 이온화률의 경로 차이가 큽니다. 이를 참고하여 N2 플라즈마 자체를 연구한 논문 (질화 및 이온주입 분야 논문)과 H2 플라즈마 생성 논문 주로 핵융합 이온원 소스 개발 등에서 참고하여 논문 찾기를 해 보시면 좋을 것입니다.