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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
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770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 27
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 22
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 84
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 39
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 30
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 117
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 231
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 258
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 151
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 143
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 409
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 280
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 114
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 327
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 165
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 205
754 PECVD Uniformity [1] 365
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 522
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 207
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 246

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