번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76751
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92314
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 update 3
789 플라즈마 설비에 대한 질문 31
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 48
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 174
786 skin depth에 대한 이해 [1] 132
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 88
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 89
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 139
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 119
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 119
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 60
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 218
778 Microwave & RF Plasma [1] 117
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 185
776 ICP에서 전자의 가속 [1] 141
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 55
774 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 221
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 66
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 102
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 159
쓰기
태그

Boards

XE Login