ICP skin depth에 대한 이해

2024.04.02 16:59

김준서 조회 수:234

안녕하십니까, 교수님. 플라즈마에 관심이 많은 전자과 학부생입니다.

ICP에서의 skin depth에 대해 알아보고 있는데, 궁금한 점이 있어 질문 드리고 싶습니다.

 

skin depth는 전자기파가 챔버 내로 침투할 수 있는 길이로, 플라즈마 밀도가 높아질수록 해당 길이는 짧아진다고 알고 있습니다.

고밀도 플라즈마에서는 quartz window 근방에 형성된다고 알고 있는데, 그렇다면 icp는 주로 해당 부근에서 전자가 가속된다고 생각해도 될까요?(CCP가 Cathode fall 부근에서 주로 가속되는 것과 비슷하게).

 

비슷한 방면으로, icp에서 E-mode->H mode로 전환되며 플라즈마 밀도가 커지면서 skin depth 또한 줄어들 것이니, 플라즈마 형성 초기에는 전자가 흡수하는 에너지가 커지다가, 이후 점차 작아질 것이라고 생각하는데, 이러한 태생적인 특징이 icp 플라즈마 밀도 증가의 한계에 영향을 끼친다고 볼 수 있을까요?

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
810 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [1] file 10
809 micro arc에 대해 질문드립니다. [1] 10
808 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] 10
807 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 71
806 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 38
805 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] 58
804 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] 75
803 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] 41
802 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 98
801 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 111
800 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 86
799 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 68
798 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 98
797 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 135
796 Druyvesteyn Distribution 53
795 플라즈마 식각 커스핑 식각량 64
794 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 128
793 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 42
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 58
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 145

Boards


XE Login