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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도
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플라즈마 설비에 대한 질문
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788 |
내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
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787 |
Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다.
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786 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
[1] | 66 |
785 |
자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문
[1] | 67 |
784 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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783 |
RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다.
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782 |
반사파에 의한 micro arc 질문
[2] | 96 |
781 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문
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780 |
RF generator의 AMP 종류 질문입니다.
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Microwave & RF Plasma
[1] | 124 |
778 |
sputtering 을 이용한 film depostion
[1] | 127 |
777 |
챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해
[1] | 129 |
776 |
CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다.
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775 |
DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지
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774 |
ICP에서 전자의 가속
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773 |
LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다.
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772 |
skin depth에 대한 이해
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