안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
» PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 86
102 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 145
101 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 152
100 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 164
99 Microwave & RF Plasma [1] 177
98 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 337
97 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 339
96 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 347
95 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
94 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 384
93 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 397
92 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 436
91 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 476
90 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 476
89 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
88 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
87 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 541
86 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 718
85 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 742
84 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 762

Boards


XE Login