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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62994
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144 doping type에 따른 ER 차이 [1] 229
143 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 249
142 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 266
141 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 291
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139 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 329
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136 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 349
135 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 358
134 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 373
133 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 373
132 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 396
131 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 397
130 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 405
129 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 408
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 455
127 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 463
126 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 478
125 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 524

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