번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77263
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20478
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57385
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68915
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92964
185 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. 11
184 플라즈마 식각 커스핑 식각량 63
183 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 88
182 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 89
181 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 91
180 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 176
179 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 201
178 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 211
177 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 219
176 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 236
175 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 250
174 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 252
173 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 265
172 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 285
171 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 294
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 305
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 315
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 345
167 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 380
166 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 385

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