Others N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]

2015.07.03 19:27

김민철 조회 수:2011

 

안녕하세요 교수님.

Display 회사에서 근무중인 김민철입니다.

제가 질문드리고자 하는 내용은 a-Si표면에 N2 Blowing Ionizer 사용 시 어떤 반응이 생기는지에 대해 궁금증이 있어 문의드립니다.

Display 공정 중 Excimer laser annealing 전에 Ionizer를 진행 하는데 이때 정전기 제거가 아닌 다른 영향을 줄 수 있는가에 대해 연구중입니다.

아래 다른 게시글을 참조해보니 N2 Ionizer 사용 시  N2가 분해되어 (+)이온이된다고 하셨는데 이러한 이온이나  N, O, electron 등이  a-Si 표면에 있는 Si의 dangling bond와 결합을 할수있는 지가 궁금 합니다.

이를 통해 후공정으로 진행하는 Excimer laser annealing을 진행할 때, Si의 결정화에 영향을 미칠지가 궁금합니다.

만약 영향을 줄 수 있다면 Si의 어떤 결합이 생기고 반도체의 성질에 어떤 영향이 있을지요 (ex) 불순물로 인한 Doping 장벽 역활 등등...

논문이나 자료를 찾기위해 플라즈마와 관련하여 검색중에 교수님 이름이 많아 조언 부탁드리게 되었습니다.

바쁘실테지만 상기 내용에 대해서 조언 부탁드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 83123
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22048
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58812
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70467
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96530
31 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 122
30 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 140
29 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 514
28 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 668
27 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 672
26 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 791
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 867
24 새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터] [1] 872
23 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 936
22 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1029
21 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1377
20 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1385
19 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1608
18 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1726
17 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 1914
» N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 2011
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2545
14 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 2938
13 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3424
12 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3675
쓰기
태그

Boards

XE Login