ESC 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]

2020.08.12 09:14

김한솔 조회 수:1677

안녕하십니까 김곤호 교수님

ESC를 공부하다가 어려운 내용이 있어서 이렇게 글을 올려봅니다.

전극 형태만 다르고 모두 같은 조건의 ESC중에 (interdigital 형식 전극과  Capacitor 형식의 전극이 큰 전극)

Chucking Force가 어떤 것이 높은지 궁굼합니다.

또 이 두가지의 장단점을 조금만 설명해 주시면 큰 도움이 될 것 같습니다.

대략적인 사진 첨부 드립니다. 컨펌 부탁드리겠습니다.

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