안녕하세요,

재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.

항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.


제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,


1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.

그리고,

2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.


감사합니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4912
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16248
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83572
28 Plasma source type 76808
27 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 22950
26 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21204
25 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... 19112
24 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15838
23 냉각수에 의한 Power Leak 14346
22 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9533
21 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8325
20 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6190
19 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4698
18 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2845
» RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2663
16 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2023
15 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 1725
14 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1432
13 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1365
12 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1152
11 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1049
10 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 970
9 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 719

Boards


XE Login