번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55049
369 활성이온 측정 방법 [1] 281
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 618
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 938
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 950
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1625
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 839
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1176
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 393
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 487
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 586
359 DC bias (Self bias) [3] 4114
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 6989
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 511
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 595
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 3703
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1103
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 819
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 710
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 327
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1369

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