안녕하십니까?
진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.
고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우
터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.
제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.
터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76746 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20216 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92304 |
609 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
608 | sputtering | 18292 |
607 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18241 |
606 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
605 | ICP에 대하여 | 18196 |
604 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18194 |
603 | rotational vibration excitation | 18185 |
602 | 진로상담 | 18146 |
601 | 증착에 대하여... | 18102 |
600 | DBD plasma | 18088 |
599 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
598 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18038 |
597 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
596 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
595 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
594 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17975 |
593 | electrode gap | 17949 |
592 | 플라즈마 응용분야 | 17860 |
591 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17848 |
590 | capacitively/inductively coupled plasma | 17807 |
터보는 저압에서 운용되는 진공펌프입니다. 블레이드가 가스 입자를 충돌시켜서 입자를 챔버로 부터 빼내고, 블레이는 수만 RPM으로 고속회전합니다. 따라서 대기압에 노출이 된다면 당연히 모든 블레이드가 부러지게 되고, 축이 휘면서 정지하게 됩니다. 일부 압력이 높은 경우에는 축이 휘는 경우가 있어 에러의 원인이 될 수 있습니다. 수리가 필요해 보입니다.