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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68722
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95 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 22143
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93 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17715
92 반도체 관련 질문입니다. 28579
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89 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21332
88 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21899
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85 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19356
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83 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18750
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81 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] 20968
80 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22853
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