Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76871 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
97 | 우주 플라즈마 | 14786 |
96 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15162 |
95 | 우주 플라즈마 | 15354 |
94 | 핵융합반응/플라즈마 | 15525 |
93 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15626 |
92 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15669 |
91 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15886 |
90 | corona | 15891 |
89 | k star | 15957 |
88 | 역 수소폭탄에 대하여... | 16009 |
87 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
86 | 궁금합니다 [1] | 16178 |
85 | 궁금해서요 | 16316 |
84 | 플라즈마의 어원 | 16344 |
83 | 형광등으로 부터 플라즈마의 이해 | 17009 |
82 | RF에 대하여,, | 17051 |
81 | Light flower bulb | 17081 |
80 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17087 |
79 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17447 |
78 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.
이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.