Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76791 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20229 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92435 |
95 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1239 |
94 | 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] | 1239 |
93 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1159 |
92 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1145 |
91 | 전자 온도 구하기 [1] | 1142 |
90 | 자기 거울에 관하여 | 1141 |
» | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1134 |
88 | wafer bias [1] | 1131 |
87 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1127 |
86 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1123 |
85 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1087 |
84 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1052 |
83 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1041 |
82 | 플라즈마 코팅 [1] | 1038 |
81 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1033 |
80 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1013 |
79 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1005 |
78 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 970 |
77 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 969 |
76 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 960 |
반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.
이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.