1) 최적화로 인해 어느정도 감소는 하였습니다

2) 아래 parameter 들을 변경 test 를 하기에는 좀 무리가 있습니다.

3) 이뜻이 어떤 의미 인지 알 수 있을까요?

4) RF cable 길이가 제생각에는 짧은 것이 좋을거 같은데 실제로 사용하다보니 긴것이 더 좋은 쪽도 있었습니다.

3)

일반적으로 플라즈마 발생 시 RFG 입장에서 출력하는 Power를 일정하게 유지하는 방법으로 제어를 합니다.

이 경우 순간적인 임피던스 변화에 의해 매칭이 틀어질 경우,

실제 Load에 전달되는 Power는 Reflect Power로 인해 감소됩니다.

Load에 전달되는 Power가 줄면 플라즈마가 유지되기 어렵고 임피던스는 더욱 변화됩니다.

(결과적으로 다시 매칭이 동작할 때까지 꺼지는 상태가 될 수 있습니다.)

Load Power Regulation 은 Reflected Power 만큼 Forward Power를 증가시키기 때문에

플라즈마 유지에 좀 더 유리할 것으로 판단됩니다.

4)

RF-Cable의 길이 최적화는 참 어려운 문제입니다.

요즘은 이 문제를 해결했다는 RFG도 출시되고 있습니다.

(사용해 보지는 않아서 효과는 확실하지 않으나 설득력은 있습니다.)